主要用途和適用范圍： CVI-1200系統(tǒng)由高溫管式爐，真空壓強(qiáng)控制系統(tǒng)，多通道高精度數(shù)字質(zhì)量流量控制系統(tǒng)，過壓保護(hù)及冷凝等部分組成，可實(shí)現(xiàn)真空達(dá)0.1mbar混合氣體化學(xué)氣相沉積和擴(kuò)散試驗(yàn)。 | |
主要技術(shù)參數(shù)： | |
SGL-1200L真空管式爐 | 雙層爐殼間配有風(fēng)冷系統(tǒng)，有效保證外殼表面溫 日本技術(shù)真空吸附成型的優(yōu)質(zhì)高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛，保溫性能好 加熱元件采用高電阻優(yōu)質(zhì)合金絲0Cr27Al7Mo2，經(jīng)久耐用，最高溫度可達(dá)1200℃ |
機(jī)器電源 | AC220V，50/60Hz；額定功率4kw |
爐管 | 高純石英管，高溫下化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)，耐腐蝕，熱膨脹系數(shù)極小，能承受驟冷驟熱的溫度變化； 尺寸：Φ80*/1000mm 剛玉支撐架，有效保證料件處于溫區(qū)中心 |
法蘭及支撐 | SUS304不銹鋼快速水冷法蘭，長期水冷無腐蝕 一個卡箍就能完成法蘭的連接，放、取物料方便快捷 可調(diào)節(jié)的法蘭支撐，平衡爐管的受力支撐 包含進(jìn)氣、出氣、真空抽口針閥，KF密封圈及卡箍組合，4個密封硅膠圈等 |
加熱系統(tǒng) | 加熱元件：0Cr27Al7Mo2 加熱區(qū)長度：300mm 恒溫區(qū)長度：150mm 工作溫度：≤1150℃ 升溫速率：≤10℃/min |
溫控系統(tǒng) | 溫度控制采用人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有PID調(diào)節(jié)、自整定功能 30段升降溫程序 測溫元件：N型熱電偶 恒溫精度：±1℃ 超溫、斷偶故障警報(bào)及斷電保護(hù) |
HQZ-Ⅳ 混氣系統(tǒng) | 高精度質(zhì)量流量計(jì)通過數(shù)據(jù)接口連接電腦，配置軟件實(shí)時人機(jī)交互界面 四通道質(zhì)量流量控制，可同時通入四種不同氣體 內(nèi)置不銹鋼混氣箱，每路氣體管路均配有逆止閥 每路氣體進(jìn)氣管路配有不銹鋼針閥 流量規(guī)格：0~30SLM 控制精度：±1.0％F.S |
真空系統(tǒng) | 采用德國vacuubrand MV2NT VARIO四級隔膜泵，無極調(diào)速，實(shí)現(xiàn)負(fù)壓的精準(zhǔn)控制 極限真空度可達(dá)0.1mbar 可長時間連續(xù)工作，無須擔(dān)心泵因過熱保護(hù)而中止實(shí)驗(yàn) 采用電容式陶瓷隔膜真空規(guī)+控制器，操作簡單方便 配置氣體尾氣處理系統(tǒng) |
冷凝系統(tǒng) | 采用低溫恒溫槽，最低溫度可達(dá)-20℃ 內(nèi)置不銹鋼真空冷凝灌，采用KF接頭，清理收集方便 槽內(nèi)冷液可外引,冷卻機(jī)外實(shí)驗(yàn)容器,也可在槽內(nèi)直接進(jìn)行低溫、恒溫實(shí)驗(yàn) |
