一、應(yīng)用行業(yè)工藝信息
1、主要信息：
工藝名稱 | 真空氣氛燒結(jié) | 應(yīng)用行業(yè) | 半導(dǎo)體 |
工藝目的 | 氮化鋁陶瓷高溫?zé)Y(jié)，達(dá)到導(dǎo)熱率，提高電阻率 | 材料（零件）名稱 | 氮化鋁 |
工藝最高溫度 | 1850℃ | 材料（零件）尺寸 | 6-8英寸 |
工藝極限真空 | 6.67*10-1Pa | 溶液（堆積）密度 | |
工藝氣體 | 氮?dú)�、氬�?/span>、氫氣 | 一次性處理量 | 60KG |
揮發(fā)物 | 無 | 取放料方式 | |
尾 氣 | 氫氣 | ||
關(guān)注重點(diǎn)和注意事項 | |||
1.氫氣安全監(jiān)測 | |||
2、客戶工藝流程圖/工藝流程步驟
二、設(shè)備主要用途及優(yōu)點(diǎn)
1、 主要用途：主要用于氮化鋁高溫?zé)Y(jié)，通純氫氣或者氮?dú)浠旌?/span>
2、 主要優(yōu)點(diǎn)或特點(diǎn)：
①、工藝滿足性：根據(jù)客戶工藝要求，真空或者氣氛下高溫?zé)Y(jié)，可通純氫氣，氫氣尾氣燃燒、氫氣實時監(jiān)測，安全可靠，既能滿足客戶工藝需求又能節(jié)儉成本和使用空間。
②、設(shè)備安全性：
A、 設(shè)備安全：設(shè)有系統(tǒng)監(jiān)控畫面、故障處理畫面及幫助界面等，系統(tǒng)在運(yùn)行中的各種數(shù)據(jù)能夠隨時查看、記錄并打印。面板上的紅色閃光指示燈用來顯示各種報警功能，操作者根據(jù)提示可以立刻判斷出報警的位置并處理。
B、監(jiān)測安全：配有安全聯(lián)鎖保護(hù)功能，具有超溫斷電或保持,停水?dāng)嚯?延時停止加熱、真空泵等)，充氣的壓力保護(hù)及真空壓力保護(hù)等。
C、第三方檢測：可根據(jù)客戶要求提供儀表、熱偶、電氣部件等質(zhì)量保證文件，第三方計量鑒定等
③、自動化程度：設(shè)備自動化程度高，一人即可完成生產(chǎn)作業(yè)，可根據(jù)工藝設(shè)定程序自運(yùn)行和安全互鎖等功能;
④、質(zhì)量等級：按優(yōu)質(zhì)設(shè)備配置，外形美觀，結(jié)構(gòu)合理，性能穩(wěn)定可靠，使用壽命長，維護(hù)保養(yǎng)方便，相關(guān)電氣配件采用進(jìn)口或國內(nèi)一線品牌;
⑤、穩(wěn)定性和維護(hù)：設(shè)備的加熱、真空、氣路，控制系統(tǒng)等是模塊化集成設(shè)計，便于維護(hù)和更換。
⑥、節(jié)能降耗生產(chǎn)效率：結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定。
